双束扫描电镜

设备归属：成像中心

设备管理员联系方式：韩韶波，shaobohan@eitech.edu.cn

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设备介绍：

双束扫描电镜用于微纳米结构观察及分析、稳定的大束流，确保能谱仪分析工作的快速与准确、及高质量定点TEM样品制备，冷冻TEM样品制备、提取和转移。

该设备型号为赛默飞 Scios，主要功能及应用： TEM及APT高质量定点制样、高精度微纳加工等，具备金属沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行C、W等金属的沉积；具有原位样品自动提出常温纳米机械手和冷冻纳米机械手；配备原位冷冻台：控温范围+35 ℃ ~ -160 ℃；配备快速进样系统；具有EDS 和EBSD功能。

主要技术参数：

Ø  二次电子分辨率：在优化工作距离下≤ 1.0nm @ 15kV；≤ 1.4nm @ 1kV；1.2nm@1kV (BD)；电子束参数：加速电压范围：200 V ~ 30 kV；电子束流范围：1.0 pA ~ 400 nA；

Ø  离子束参数：加速电压范围：500 V ~ 30 kV；离子束流范围：1.1 pA ~ 65nA；离子束分辨率：共焦点时30 kV：20 nm；

Ø  五轴联动台：XY范围：110 mm；Z范围：65 mm；R旋转：360°；T倾斜：-15°~ +90°；

Ø  能谱元素分析范围：Be4～Cf98；配备EBSD；集成等离子清洗和氩离子局部吹扫功能。