设备归属：成像中心
设备管理员联系方式：韩韶波，shaobohan@eitech.edu.cn
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设备介绍：
扫描电子显微镜能够在纳米尺度获得物质表面的微观结构。是电子束系统、真空系统、成像系统、分析系统的有机结合体。原理是控制电子束在样本表面逐点扫描，从而激发出样品表层的二次电子、背散射电子、X射线等信号，再利用合适的探测器和分析方法对信号进行接收和处理，从而获得扫描区域的形貌、成分和结构信息。
该设型号为Hitachi SU8600，具有高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时具有高通量、自动数据获取能力。先进的自动化功能：自动电子光学调节、自动化数据采集；兼具超高分辨率及分析扩展能力：搭载新型高亮冷场发射电子源、基于ExB的高效率信号采集系统：强大的显示及交互特性：6通道同时显示与保存、单次扫描最高支持40960x30720 的超高像素。
主要技术参数：
Ø 电子枪：高亮度冷场发射，色差<0.2eV;
Ø 加速电压：0.01-30kV (10V/step, 含减速)；
Ø 分辨率SE: ≤0.6nm (@15kV,工作距离≥4mm);≤0.7nm@1kV (@1kV,工作距离≥1.5mm)；
Ø 探测器：UD、LD、BSE、EDS、EBSD。
