集成电路平台，致力于构建面向微米与纳米级技术研究及产品开发的微尺度高端科研环境。平台聚焦前沿技术，全面覆盖集成电路与微纳电子、光电子与集成光子学、MEMS 与先进传感器、前沿材料与生物芯片等核心领域的研发需求，为逻辑芯片与新型存储器、光通信芯片与微光学器件、惯性及生化 MEMS 传感器、宽禁带半导体及生物微流控芯片等众多方向，提供全方位技术支撑。

平台旨在加速微纳技术在医疗健康、高速通信、新能源、国防科技等关键领域的应用转化与产业化进程，构建从材料外延、微纳工艺开发到封装测试的一站式全流程服务体系。目前，微纳中心已完成一期设备采购，初步搭建起完善的基础设施。未来，平台计划引进包括金属有机气相沉积设备（MOCVD）、步进光刻机（STEPPER）、双腔体感应耦合等离子体（ICP）刻蚀机、二次离子质谱（SIMS）、等离子体增强原子层沉积（PE-ALD）在内的一系列国际先进的科研仪器。